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ピコサームでは、薄膜熱物性測定の計測・分析サービスも行っております。

測定のポイント

パルス光加熱サーモリフレクタンス法には、下記2通りの方法がございまして、
対象とする薄膜の物性や膜厚、基板等により、どちらの方法で測定するか決定しております。

1. 裏面加熱・表面測温（RF）方式 ※透明基板（Si も可）
2. 表面加熱・表面測温（FF）方式 ※透明基板、不透明基板

RF方式では単層膜、多層膜の測定が可能です。