パルス光加熱サーモリフレクタンス法には、下記2通りの方法がございまして、対象とする薄膜の物性や膜厚、基板等により、どちらの方法で測定するか決定しております。
RF方式では単層膜、多層膜の測定が可能です。
〒305-0047 茨城県つくば市千現二丁目1番6号 TEL. 029-828-7540 / FAX. 029-828-7541 Copyright (C) PicoTherm Corporation All Rights Reserved.