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薄膜熱物性測定装置「NanoTR」「PicoTR」 は、金属薄膜や酸化物薄膜、有機薄膜などの熱物性値を高精度に測定する世界初の薄膜熱物性測定装置です。任意の基板に成膜された厚さ数10nm～数10μmの薄膜の熱拡散率、熱浸透率、熱伝導率および多層膜の界面熱抵抗を、迅速かつ高精度に測定することが可能です。国家標準レベルの信頼性の高い熱計測技術と解析技術およびSIトレーサブルな校正技術を通して、サーマルソリューションを提供してまいります。

ナノ秒サーモリフレクタンス法による薄膜熱物性測定装置

ピコ秒サーモリフレクタンス法による薄膜熱物性測定装置

パルス光加熱サーモリフレクタンス法による超高速測温

PicoTRはピコ秒パルス光により、NanoTR はナノ秒パルス光により薄膜の片側を瞬間的に加熱し、誘起される超高速の温度応答をサーモリフレクタンス法により最速1ps（PicoTR の場合）の時間分解能で測定できる世界初の測定装置です。

薄膜の熱物性値を測定

薄膜の熱拡散率、熱浸透率、熱伝導率および多層膜の薄膜間の界面熱抵抗を測定できます。信頼性の高い熱物性データを用いることにより電子デバイス等の熱設計の定量性が飛躍的に向上します。

任意の基板上の薄膜を測定可能

裏面加熱／表面測温（RF）方式と表面加熱／表面測温（FF）方式、2方向のサーモリフレクタンス法をワンクリックで切り替えられるので、基板の種類に応じて最適な方式により薄膜の熱物性を測定することができます。

国家標準へのトレーサビリティ

測定の信頼性は産業技術総合研究所が国家標準として供給している熱拡散時間標準薄膜（RM1301-a）により検証されています。