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例1　TiN薄膜の温度履歴曲線

サーモリフレクタンス信号　－裏面加熱・表面測温－

サーモリフレクタンス信号　－表面加熱・表面測温－

例2　有機EL材料の温度履歴曲線

＜厚さ100 nmの有機EL材料を測定した例＞
有機EL材料をサーモリフレクタンス測定用に用意したAl薄膜ではさみ測定をしています。

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