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測定事例

例1 TiN薄膜の温度履歴曲線

測定事例1
サーモリフレクタンス信号 -裏面加熱・表面測温-
測定事例2
サーモリフレクタンス信号 -表面加熱・表面測温-

例2 有機EL材料の温度履歴曲線

測定のポイント2
<厚さ100 nmの有機EL材料を測定した例>
有機EL材料をサーモリフレクタンス測定用に用意したAl薄膜ではさみ測定をしています。